Termostatos Semistat

Descripción

Los LAUDA Semistat son termostatos de proceso basados en tecnología Peltier, desarrollados para aplicaciones de la industria de semiconductores.

Permiten controlar la temperatura del soporte electrostático de obleas en procesos de grabado por plasma. Su diseño compacto y su reducido volumen de fluido facilitan la instalación cerca del punto de utilización.

El sistema termoeléctrico funciona sin compresor ni refrigerante y cubre temperaturas de ?20 a +90 °C.

Modelos y variantes

• Semistat S 1200: capacidad de refrigeración de 1,2 kW a +20 °C.
• Semistat S 2400: capacidad de refrigeración de 2,45 kW a +20 °C.
• Semistat S 4400: capacidad de refrigeración de 4,4 kW a +20 °C.
• La familia presenta una estabilidad de temperatura indicada de ±0,1 K. La selección del modelo depende de la carga térmica y las condiciones del proceso.